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,机电部45所开展了分步光刻机的研制,对标的是米国的48DSW。
185年,研制出了样机,通过电子部技术鉴定,认为达到48DSW的水平。
这是中国第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米G线光源,与国外的差距不超过7年!
1年3月,中科院光电所研制的IOE11G直接分步重复投影光刻机样机通过评议,工作分辨率15微米,主要技术指标接受米国GCA8型的水平,相当于国外8年代中期水平,差距在五年!
如果不是技术封锁和专利掣肘,国内现在一定不比国外差!
来就不比国外落后多少,而且,国内的光技术甚至领先国际!
又加上赵岂年的原因,知道如何打破技术壁垒,一下子跑过了弯道,实现了超车!
在此基础上,再度连续突破,更是天经地义的事情!
而且,在科技界,一旦有了技术积累,在积累的基础上进行突破,会简单很多!
一旦领先,处处领先,甚至不需要担心专利的掣肘!
“被什么卡住了??”,赵岂年思考了一会后,问道。